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P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm$n壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運(yùn)動(dòng)精度和高穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

P32系列Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)大6mrad偏轉(zhuǎn)，Z軸40μm的直線運(yùn)動(dòng)。提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)及Z軸直線升降運(yùn)動(dòng)，直線運(yùn)動(dòng)的分辨率可達(dá)亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧 度，響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒量級(jí)。《查看更多》