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芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) P83系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的位移,測(cè)微頭的分辨率是10μm，再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，《查看更多》