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[詳細(xì)資料]

XD107 系列壓電掃描臺(tái) XYZ三維

XD107 系列壓電掃描臺(tái) XYZ三維是三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，它的中心具有方形通孔，適用于樣品顯微成像應(yīng)用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

XYZ 向運(yùn)動(dòng)

具有大型中心通孔

納米級(jí)精度

占用空間小，易于集成

產(chǎn)品應(yīng)用

掃描顯微鏡

掩模 / 晶圓定位

干涉、度量衡學(xué)

生物技術(shù)

微操作

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