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XP-780系列壓電掃描臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X軸zui大220μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺(tái)具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺(tái)可以通過(guò)疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。

特性

       • 一維X向運(yùn)動(dòng)，zui大行程220μm         • zui大承載5kg           • 通孔尺寸：25×25mm                           • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高                        • 開/閉環(huán)可選

      應(yīng)用

       • 精密定位       • 光學(xué)顯微成像        • 細(xì)胞穿透       • SPM掃描顯微鏡  

      • 干涉       • 掩模/晶圓定位        • 計(jì)量       • 生物技術(shù)       • 表面結(jié)構(gòu)分析

1~3維掃描臺(tái)

XP-780系列壓電掃描臺(tái)包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格型號(hào)，可以自由疊加組合。