產(chǎn)品名稱：P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格
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產(chǎn)品特點：P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格 P63.XY直驅(qū)式壓電平移臺，是二維XY軸運動壓電納米定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，在精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。
更新日期：2026-02-27
P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格直驅(qū)式壓電平移臺，是二維XY軸運動壓電納米定位臺，采用壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，在精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。
P63.XY二維XY向壓電納米定位臺 6.8μm價格
特性
• 1~3維自由組合 • 位移行程6.8μm • 亞毫秒響應時間 • 承載0.5kg • 重復定位精度可達納米級
小體積、高精度、響應速度快 | 傳感器類型 | 頻率負載曲線 | |
P63系列壓電納米定位臺的特點是高精度、體積小巧，P63.XY二維壓電納米定位臺的尺寸僅為30×30×30mm（一維X軸運動壓電納米定位臺尺寸為30×30×21mm），非常易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺是高精度納米級定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應用而設計的，具有低慣性的特點，且響應時間可快至0.3ms，可選擇配置高精度閉環(huán)傳感器進行高分辨率的高速掃描。 |  |  |
應用 • 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術/半導體技術 •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制 應用實例：納米切削 P63三維納米定位臺已廣泛應用于基于SEM在線納米切削平臺的切削力的測試實驗。
| 諧振頻率與負載曲線
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17051647888
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