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宏微復(fù)合跨尺度兩級(jí)驅(qū)動(dòng)精密定位技術(shù)是****、航空航天、精密加工、生物科學(xué)和精密光學(xué)等領(lǐng)域的關(guān)鍵支撐技術(shù)之一。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，精密定位技術(shù)對(duì)定位系統(tǒng)行程和精度的需求越來(lái)越大，宏微復(fù)合兩級(jí)驅(qū)動(dòng)精密定位技術(shù)克服了傳統(tǒng)的單一驅(qū)動(dòng)定位技術(shù)難于實(shí)現(xiàn)大行程、高精度的技術(shù)難題，在體積、行程、響應(yīng)速度、定位精度等方面均具有較大的優(yōu)勢(shì)。

哈爾濱芯明天科技有限公司以實(shí)際應(yīng)用為主進(jìn)行研發(fā)，克服各項(xiàng)技術(shù)難題，將手動(dòng)調(diào)節(jié)微動(dòng)臺(tái)與壓電納米定位臺(tái)相結(jié)合，將定位臺(tái)的行程擴(kuò)展到幾十毫米，同時(shí)可達(dá)到納米級(jí)的分辨率，以滿足不同大行程、高精度要求的應(yīng)用。

本次介紹的就是一款宏微復(fù)合跨尺度兩級(jí)驅(qū)動(dòng)的壓電精密定位臺(tái)，它的型號(hào)為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個(gè)方向產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實(shí)物外觀如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的一端具有移動(dòng)臺(tái)面，臺(tái)面尺寸為60mm×60mm，在移動(dòng)臺(tái)面上配有16個(gè)M3的負(fù)載安裝孔。該平臺(tái)固定于一個(gè)112mm×112mm的底座，在底座上具有8個(gè)φ8mm及3個(gè)φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺(tái)采用了手動(dòng)千分尺調(diào)節(jié)，該千分尺的行程為4mm，單圈調(diào)節(jié)為500μm。

該宏微復(fù)合平臺(tái)的壓電驅(qū)動(dòng)部分是由壓電陶瓷來(lái)驅(qū)動(dòng)，施加電壓信號(hào)來(lái)控制。通過(guò)芯明天壓電控制器對(duì)壓電平臺(tái)內(nèi)部壓電陶瓷施加電壓信號(hào)，壓電陶瓷產(chǎn)生相應(yīng)的位移，再由柔性結(jié)構(gòu)傳遞到移動(dòng)臺(tái)面，從而使得移動(dòng)臺(tái)面產(chǎn)生微納米級(jí)的微位移運(yùn)動(dòng)。

該部分壓電驅(qū)動(dòng)的連接是通過(guò)引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復(fù)合平臺(tái)相連的。該套壓電系統(tǒng)的引線兩端都采用連接器連接。

E01.D3系列壓電控制器非常適于驅(qū)動(dòng)H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺(tái)，它具有閉環(huán)伺服模塊，可進(jìn)行伺服控制；此外，可通過(guò)上位機(jī)軟件進(jìn)行控制。

E01.D3系列壓電控制器驅(qū)動(dòng)H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺(tái)的基本參數(shù)如下。

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