壓電掃描臺(tái)是用于樣品顯微成像的Z向運(yùn)動(dòng)壓電掃描臺(tái)，稱之為壓電顯微樣品臺(tái)，Z向掃描臺(tái)，Z向行程可達(dá)500μm。Z向掃描臺(tái)是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)的用于樣品顯微掃描的一維Z軸壓電掃描臺(tái)，它的外形結(jié)構(gòu)易集成于顯微儀器設(shè)備中。
壓電掃描臺(tái)的應(yīng)用：
顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測(cè)試等。
壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，采用XY軸一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，中心具有通孔尺寸為25×27.5mm，產(chǎn)品體積小巧、性能穩(wěn)定，N65系列掃描臺(tái)為開(kāi)環(huán)版本、動(dòng)態(tài)性好，適用于動(dòng)態(tài)掃描應(yīng)用領(lǐng)域及低溫環(huán)境。
壓電掃描臺(tái)剛度大、分辨率高、諧振頻率高、動(dòng)態(tài)性能好。
采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，臺(tái)面四角配有通孔，便于集成與安裝。
壓電掃描臺(tái)以開(kāi)環(huán)版本為主，具有超高的分辨率，可達(dá)0.2nm。優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有3N/μm的高剛度，XY軸空載諧振頻率均可達(dá)到1KHz，該產(chǎn)品是高速掃描應(yīng)用的理想選擇。
掃描臺(tái)配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時(shí)間為1.5ms。
