壓電陶瓷驅(qū)動電源主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號或計算機通過DA給出的模擬信號或其 它的控制信號，通過功率放大模塊內(nèi)部的 電壓與功率放大電路將信號放大。
E09 PZT傳感控制模塊
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動工作臺等納米定位機構(gòu)中的傳感器提供高、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵信號，并檢測和處理 PZT或微動工作臺等納米定位機構(gòu)中的傳感器信 號，并將該傳感器信號通過內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個獨立的設(shè) 備，需集成在E00/E01機箱內(nèi)工作。
工作原理
壓電陶瓷類變形鏡對高壓驅(qū)動電源的要求除了雙極性高壓輸出和高的動態(tài)性能外，還要求驅(qū)動電源具有穩(wěn)定性高、線性度好、紋波小等特點。通常驅(qū)動電源采用直流放大式的原理結(jié)構(gòu)，它主要由誤差放大級、高壓功率放大級、電壓負反饋網(wǎng)絡(luò)和高壓直流電源等組成。誤差放大級放大輸入低壓控制信號與電壓反饋信號的差值形成負反饋，穩(wěn)定驅(qū)動電源閉環(huán)時的電壓增益；高壓功率放大級實現(xiàn)電壓和電流的放大，滿足變形鏡驅(qū)動對電壓和電流的要求；高壓直流電源為高壓功率放大級提供所需的高壓直流電壓。
壓電陶瓷是可以將電能轉(zhuǎn)換成位移或出力的功能性材料且越來越廣泛的被精密定位，半導(dǎo)體加工，顯微成像等各個領(lǐng)域所應(yīng)用。
選擇壓電陶瓷驅(qū)動電源的理由有哪些？
· 大出力
· 高機械負載能力
· 高剛度
· 高動態(tài)性
· 真空環(huán)境兼容
· 高分辨率
