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P60.Z250為一維Z向運(yùn)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)Z向250μm位移。壓電定位臺(tái)具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達(dá)納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。平臺(tái)可選真空兼容版本，平臺(tái)中的部件均適合于真空應(yīng)用，真空度可達(dá)1×10^(-5)mbar。

閉環(huán)版本定位精度高

P60.Z250可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對(duì)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)反饋，配置芯明天閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時(shí)對(duì)位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位控制及優(yōu)異線性運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維Z向運(yùn)動(dòng)

• 行程可達(dá)250μm

• 承載可達(dá)1kg

• 可選真空兼容版本

應(yīng)用

• 計(jì)量/干涉/ 掃描

• 納米定位

• 光盤(pán)驅(qū)動(dòng)測(cè)試

• 半導(dǎo)體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測(cè)試

• 微加工/精密控制

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P60.Z250

運(yùn)動(dòng)自由度：Z

標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V）：200μm

行程范圍（0~150V）：250μm

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：10/3nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：260Hz

承載能力：1kg

靜電容量：21.6μF

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

重量（不含線）： 0.4kg

真空度：1×10^(-5)mbar

外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：80×60×20mm

出線長(zhǎng)：1.5m