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P84系列壓電千分尺是宏動手動調(diào)節(jié)千分尺與電動調(diào)節(jié)壓電驅(qū)動機構(gòu)相結(jié)合的運動平臺。它的宏動手調(diào)范圍為13mm，壓電驅(qū)動調(diào)節(jié)范圍為100μm。精調(diào)精度可達(dá)4nm。

特點

• X向運動，1~3維運動可選

• 手調(diào)千分尺行程 13mm，分辨率達(dá) 10µm

• 壓電精調(diào)行程 100µm，分辨率達(dá)4nm

• 壓電調(diào)節(jié)可選配傳感器

技術(shù)參數(shù)

型號：P84.X100S
運動自由度：X      

行程范圍（粗調(diào)+精調(diào)）：13mm+100μm

殼體材料：鋼、鋁

粗調(diào)行程范圍：13mm

粗調(diào)分辨率：10μm

粗調(diào)驅(qū)動方式：螺紋副（分厘卡）    

粗調(diào)靈敏度：<2μm

粗調(diào)讀數(shù)：10微米/格

螺距：0.5mm/rev.

精調(diào)行程范圍@120V：80μm

精調(diào)行程范圍@150V：100μm

精調(diào)傳感器類型：SGS

精調(diào)步進(jìn)（分辨率）：7 nm, typ.

精調(diào)閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

精調(diào)重復(fù)定位精度：0.05%F.S.

精調(diào)運動方向推力：16N

精調(diào)運動方向的剛度：1N/μm

承載能力（Z向）：500g

工作溫度范圍：-20~80°C

靜電容量：1.8μF

出線長：1.5m

傳感/電壓連接器：LEMO

應(yīng)用舉例-擠壓/厚度檢測

對于厚度檢測應(yīng)用，壓電千分尺的粗調(diào)已逐漸不能滿足測量的要求，特別是對于待測厚度非常薄，達(dá)微米甚至納米時，千分尺的步進(jìn)調(diào)節(jié)就達(dá)不到精度要求。因此，在千分尺上集成壓電驅(qū)動機構(gòu)，可顯著提高步進(jìn)調(diào)節(jié)精度，可達(dá)納米甚至亞納米級。

可選配移動臺面

對于負(fù)載需要額外平臺來帶載的應(yīng)用，可選配移動臺面，標(biāo)準(zhǔn)尺寸為65×65mm，臺面具有M4及M6螺紋孔，可供固定負(fù)載使用。