小體積一維壓電旋轉(zhuǎn)臺
P21壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺，產(chǎn)品體積小巧，旋轉(zhuǎn)角度可達到7.5mrad，承載能力達0.1kg，可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。
產(chǎn)品運動示意圖
小體積、高分辨率、高精度
P21一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理， 可以實現(xiàn)7.5mrad的旋轉(zhuǎn)， 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊， 尺寸僅為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu)，無摩擦、無回差，可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi)置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
典型應(yīng)用
頻率負載曲線
應(yīng)用實例
P21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用，組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。
技術(shù)參數(shù)
型號：P21
運動自由度：θz
旋轉(zhuǎn)角度@120V：6mrad(~1240”)
旋轉(zhuǎn)角度@150V：7.5mrad(~1500”)
閉環(huán)傳感器：SGS
閉/開環(huán)分辨率：0.4(~0.085”)/0.2(~0.04”)
閉環(huán)線性度：0.5%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.2%F.S.
推/拉力：10/5N
運動方向剛度：1N/μm
空載諧振頻率：1.1kHz
閉/ 開環(huán)空載階躍時間：30/1.5ms
承載能力：0.1kg
靜電容量：1.8μF
材質(zhì)：鋁
重量：105g
17051647888
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