壓電掃描臺|二維XY向直線運動
P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運動閉環(huán)直線掃描臺，采用機構放大設計原理，內部以高可靠性的壓電陶瓷為驅動源，可以實現370μm/軸的高速掃描，通光孔徑為Ø35mm，非常適用于大行程多維掃描等應用。
特點
位移可達 370μm
承載可達1.5kg
通孔直徑：Ø35mm
閉環(huán)重復定位精度高
響應速度快
階躍時間
單點定位應用，P18.XY300S 帶載 100g 負載階躍時間 60ms。
配套控制器
P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個輸出通道的壓電控制器進行驅動控制，其中兩個通道為可變0~120V輸出，另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器，可滿足P18.XY300S的各項參數要求。
應用實例-納米光刻
在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。
典型應用
圖像處理與穩(wěn)定
掃描顯微
干涉/計量
表面檢測
光學計量
半導體測量
